近日,新疆眾和股份有限公司6N(99.9999%)級以上純鋁研發(fā)成功,填補了國內(nèi)。國際第三方檢測機構(gòu)法國圖盧茲EAG實驗室出具的檢測分析報告顯示,新疆眾和提供的6N級以上純鋁樣的關(guān)鍵微量元素均達(dá)到了ppb(濃度達(dá)到10億分之1)級別,滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)工藝要求。6N級以上純鋁研發(fā)成功為我國半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展提供了穩(wěn)定可靠的純鋁材料,實現(xiàn)了純鋁提純技術(shù)的歷史性突破。6N級以上純鋁的研發(fā)是新疆眾和自主開發(fā)的系統(tǒng)性科技創(chuàng)新項目。在一年多的研發(fā)過程中,新疆眾和高純鋁研發(fā)技術(shù)團隊以公司的“定制普鋁+三層提純+偏析提純”高純鋁提純產(chǎn)業(yè)鏈為基礎(chǔ),發(fā)揮產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢,利用內(nèi)部普鋁電解提供的原材料,攻克了在4N—5N純提純階段的關(guān)鍵元素及反偏析元素的核心難點。同時,研發(fā)團隊通過反復(fù)試驗,尋找、優(yōu)化提純工藝核心裝備與工藝技術(shù)的佳匹配參數(shù),解決了純鋁提純二次污染的瓶頸問題,圓滿完成6N級以上純鋁研發(fā)項目。
新疆眾和6N純鋁的研制成功對推進半導(dǎo)體芯片材料的國產(chǎn)化進程具有重大意義,標(biāo)志著新疆眾和高純鋁提純技術(shù)達(dá)到水平。
(關(guān)鍵字:新疆 純鋁)