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Veeco公司（納斯達(dá)克股票代碼：VECO）今日宣布推出3款新型市場(chǎng)領(lǐng)先的TurboDisc?金屬有機(jī)化學(xué)氣象沉積設(shè)備（MOCVD），用于生產(chǎn)高亮度發(fā)光二級(jí)管。
MaxBright M:更緊湊的模塊化Veeco多反應(yīng)腔設(shè)備。與MaxBright相比MaxBright M能提供更好的服務(wù)便利性，廠房面積利用率提高15%。該機(jī)型具有更好的布局配置靈活性以適應(yīng)不同客戶(hù)的場(chǎng)地要求。
MaxBright MHP:模塊化的“M”機(jī)型中的高性能版。MaxBright MHP的片內(nèi)波長(zhǎng)均勻性比MaxBright提高了20%。由于技術(shù)進(jìn)步，熱性能和流動(dòng)性能得到改善，因此良率得以提高。與MaxBright相比MaxBright MHP的使用成本更低。
K465i HP:是Veeco的單反應(yīng)腔MOCVD設(shè)備的高性能版。與K465i相比片內(nèi)波長(zhǎng)均勻性提高20%而使用成本更低。
這些新設(shè)備均支持2英寸、4英寸、6英寸以及8英寸晶圓生長(zhǎng)�，F(xiàn)有的MaxBright和K465i設(shè)備都能很容易地現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)到高性能版。所有Veeco的MOCVD設(shè)備都擁有維護(hù)需求低的TurboDisc技術(shù)，從而具有最長(zhǎng)的設(shè)備連續(xù)生產(chǎn)時(shí)間和最高產(chǎn)量。
Veeco工藝設(shè)備執(zhí)行副總裁William J. Miller博士表示：“這一系列新產(chǎn)品為我們客戶(hù)的資金投資以及在客戶(hù)獨(dú)特的生產(chǎn)環(huán)境下設(shè)備更好運(yùn)行提供了極大的靈活性。MaxBright M, MaxBright MHP以及K465i HP的創(chuàng)新源于我們傾聽(tīng)了客戶(hù)的意見(jiàn)和專(zhuān)注于改善設(shè)備性能，從而推動(dòng)了產(chǎn)量和良率的提高。產(chǎn)量和良率正是我們客戶(hù)成功的2個(gè)關(guān)鍵因素。”
Veeco主席&首席執(zhí)行官John R. Peeler 補(bǔ)充道：“基于我們?cè)跇I(yè)內(nèi)領(lǐng)先的技術(shù)和自動(dòng)化的專(zhuān)業(yè)程度而推出的這套新產(chǎn)品系列，可以幫助降低生產(chǎn)成本，從而加速全球LED照明普及。 Veeco公司將繼續(xù)致力于提供業(yè)界最大容量，最高產(chǎn)量和最低使用成本的MOCVD設(shè)備。”
據(jù)IMS調(diào)查，2010年推出的K465i設(shè)備是該年度最暢銷(xiāo)的MOCVD設(shè)備。2011年推出的MaxBright是去年最暢銷(xiāo)的機(jī)臺(tái)�；衔锇雽�(dǎo)體雜志最近為Veeco公司頒發(fā)了“化合物半導(dǎo)體制造獎(jiǎng)”，評(píng)價(jià)道“MaxBright設(shè)備是化合物半導(dǎo)體制造業(yè)在過(guò)去一年中的最大突破”。
