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國家知識產(chǎn)權局信息顯示,大慶溢泰半導體材料有限公司取得一項名為“一種用于大直徑銻化鎵晶體生長覆蓋劑除雜裝置”的專利,授權公告號CN 221956234 U,申請日期為2024年2月。
專利摘要顯示,一種用于大直徑銻化鎵晶體生長覆蓋劑除雜裝置,涉及晶體生長除雜技術領域,包括能夠起到提升和旋轉(zhuǎn)作用的機械臂和石英刮盤,石英刮盤安裝在機械臂的下端,石英刮盤至少包括一塊扇形的石英板,石英板的兩側在厚度方向上均帶有用于收集覆蓋劑雜質(zhì)的斜面,兩個斜面構成的夾角的頂點位于石英板的上方,石英板的中部帶有用于盛放覆蓋劑雜質(zhì)的凹槽;在石英板的徑向上,凹槽的底面呈斜面,斜面的高點位于石英板的外緣一側,斜面的低點位于石英板的中心一側;所述的凹槽為扇形結構,凹槽的扇形角等于石英板的扇形角。本實用新型能夠通過石英刮盤的轉(zhuǎn)動刮走液面薄層難溶浮渣,可保證純度比較高的覆蓋劑投入晶體生長中,從而提高單晶成品率。
(關鍵字:銻化鎵)