2004年，已經(jīng)爬到“硅谷頂峰”的尹志堯博士回國(guó)創(chuàng)業(yè)，除了18位懷著同樣理想的資深工程師外，他沒有帶回任何的資料。

之所以選擇空手而歸，是因?yàn)橐�志堯博士從一開始就預(yù)料了這次創(chuàng)業(yè)必將“兇險(xiǎn)萬分”，他要回國(guó)創(chuàng)立屬于中國(guó)自己的刻蝕機(jī)公司。在當(dāng)時(shí)，中國(guó)刻蝕機(jī)行業(yè)仍是一片空白，想要做到零的突破，勢(shì)必會(huì)遭到打壓，稍有不慎就會(huì)被“專利”鎖喉。

得益于精英化的團(tuán)隊(duì)配置，尹志堯博士創(chuàng)建的中微公司很快就在2007年推出了自己第一款刻蝕機(jī)，并獲得客戶的首肯。然而就在中微首款產(chǎn)品推出后不久，公司就遭到多次“專利訴訟”，好在尹志堯博士此前做的準(zhǔn)備充足，才幫助中微接連贏下了三場(chǎng)專利官司。

時(shí)至今日，中微公司的刻蝕機(jī)產(chǎn)品已經(jīng)突破5nm制程，成功躋身世界最大半導(dǎo)體公司臺(tái)積電的供貨商名單，并與其共同研發(fā)下一代技術(shù)。

2020年Q2季度，全球前十名半導(dǎo)體芯片代工廠商合計(jì)市場(chǎng)份額達(dá)95.6%，呈現(xiàn)高度集中的態(tài)勢(shì)。在前十名的公司中，中微拿下了七家公司，合計(jì)市場(chǎng)份額高達(dá)73.9%。

雖然中微并非這些公司的唯一供應(yīng)商，但能夠進(jìn)入如此多芯片代工企業(yè)的供應(yīng)商名單，已經(jīng)足以說明中微公司的核心技術(shù)力。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈被頻頻“卡脖子”的當(dāng)下，中微公司憑借完全自主的技術(shù)躋身國(guó)際一線陣營(yíng)，這背后的故事值得我們深思。

通過復(fù)盤中微刻蝕機(jī)的崛起之路，我們發(fā)現(xiàn)中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)目前存在“三座大山”。究竟長(zhǎng)期制約中國(guó)半導(dǎo)體發(fā)展的“三座大山”是什么?完全自主的中微又是如何翻山越嶺的呢?

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)屬于高端制造業(yè)，對(duì)專業(yè)人才依賴性極強(qiáng)。中國(guó)半導(dǎo)體遲遲無法突圍，其最核心的原因正在于人才的短缺，這也是壓制中國(guó)半導(dǎo)體發(fā)展的“第一座大山”。

人才匱乏并非因?yàn)橹袊?guó)人不夠優(yōu)秀，而是我們的專業(yè)人才并未為我們所用。美國(guó)是當(dāng)今世界科研體系最完美的國(guó)家，無論是“科研氛圍”還是“個(gè)人待遇”，其都有著無與倫比的優(yōu)勢(shì)。全球科學(xué)家都以能夠融入美國(guó)科學(xué)界為目標(biāo)，正是這種“人才虹吸效應(yīng)”導(dǎo)致我國(guó)培養(yǎng)的頂尖人才往往不能為己所用。

尹志堯博士在接受采訪時(shí)曾向記者傾訴，自己在英特爾工作時(shí)，身邊負(fù)責(zé)科研的領(lǐng)導(dǎo)和同事幾乎都是華人，美國(guó)最尖端的研究組中，是從來不缺少華人的。

如何將我國(guó)高校培養(yǎng)出來的人才召回己用，已經(jīng)成為我國(guó)半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展的關(guān)鍵。

正是因?yàn)樯钪�人才的重要，尹志堯博士才�?huì)在不帶回任何財(cái)物的情況下，唯獨(dú)帶回了一眾滿懷理想的工程師，而人才恰恰成為中微公司破局的關(guān)鍵。

尹志堯博士初期帶回的工程師中，有15名跟隨創(chuàng)業(yè)，他們構(gòu)成了中微公司的核心研究框架。中微公司后續(xù)所承擔(dān)的多項(xiàng)重大科研項(xiàng)目，幾乎都是由早期帶回的15個(gè)核心工程師所領(lǐng)導(dǎo)的。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)極為復(fù)雜，涉及項(xiàng)目規(guī)劃、產(chǎn)品設(shè)計(jì)、工藝開發(fā)等多個(gè)環(huán)節(jié)，不僅需要懂產(chǎn)業(yè)專家，還需要精通等離子體物理、射頻及微波學(xué)、結(jié)構(gòu)化學(xué)、微觀分子動(dòng)力學(xué)、光譜及能譜學(xué)、真空機(jī)械傳輸?shù)认嚓P(guān)學(xué)科的專業(yè)人員。

為了能夠吸引來自全世界的半導(dǎo)體設(shè)備專家，中微公司開創(chuàng)A股先河的采用“全員持股”的方式，有效的提升了關(guān)鍵技術(shù)人員的忠誠(chéng)度和歸屬感，最大限度的降低關(guān)鍵技術(shù)人員流失的風(fēng)險(xiǎn)。

中微公司招股書顯示，在上市的時(shí)候，中微公司共有845名員工直接或間接持有公司約18.25%的股份。其中，創(chuàng)始人尹志堯在內(nèi)的初創(chuàng)團(tuán)隊(duì)持股3.25%，員工持股平臺(tái)南昌智微、中微亞洲、Grenade、Bootes、勵(lì)微投資、芃徽投資共持有公司15%的股份。

在未來很長(zhǎng)一段時(shí)間中，“人才虹吸效應(yīng)”都將是制約中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的絆腳石。中微公司用全員持股的方式，一定程度上增加了自身對(duì)人才的吸引力，但這卻并不能根治這一難題。

“科研氛圍”是一個(gè)很玄幻的詞匯，它并沒有實(shí)質(zhì)的具象，而是一種虛擬的感受。如何增加我國(guó)的“科研氛圍”，勢(shì)必要打破校園的“象牙塔”，讓學(xué)術(shù)真正的走進(jìn)基層企業(yè)，才能在實(shí)踐中得出真知，這也是中國(guó)產(chǎn)業(yè)根本上趕超世界強(qiáng)國(guó)的唯一途徑。

中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)并非不具備制造能力，而是受專利所限，無法合法生產(chǎn)。從華為到中芯國(guó)際，無一不被專利技術(shù)“卡脖子”。

就像絕大多數(shù)中國(guó)企業(yè)那樣，2007年中微公司推出首臺(tái)CCP刻蝕機(jī)后，就遭到美國(guó)應(yīng)用材料公司的起訴。

應(yīng)用材料起訴中微的理由很簡(jiǎn)答，因?yàn)橐�志堯博士曾在�?yīng)用材料做到總公司副總裁，領(lǐng)導(dǎo)和開發(fā)了全球一半以上的刻蝕機(jī)產(chǎn)品。應(yīng)用材料想當(dāng)然的認(rèn)為，中微公司用的是他們的技術(shù)。

但實(shí)際上，在回國(guó)的時(shí)候，尹志堯博士和團(tuán)隊(duì)就做好了專利攻堅(jiān)的打算，不僅沒有使用任何應(yīng)用材料的技術(shù)專利，甚至連技術(shù)構(gòu)想都是重新研究的。理所當(dāng)然的，中微公司贏下了與應(yīng)用材料的官司，在2010年雙方最終達(dá)成和解。

然而，應(yīng)用材料的專利訴訟僅僅是個(gè)開始，2009年和2017年，中微公司分別遭到泛林半導(dǎo)體和維易科的專利訴訟，但最終中微公司都以勝訴告終。

三次專利戰(zhàn)的勝利，足以見證中微硬實(shí)力的含金量，而同時(shí)也從側(cè)面反映出中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的處境。每當(dāng)我們的公司在行業(yè)中有所突破時(shí)，都會(huì)遭受到來自于歐美國(guó)家的專利打壓，無論是否侵權(quán)。

正因?yàn)榱私獾綄＠�技術(shù)的重要性，中微公司從創(chuàng)立之初就把技術(shù)放在第一位。截至 2021 年6月30日，中微公司共申請(qǐng)專利1870項(xiàng)，其中發(fā)明專利1613項(xiàng)，已獲授權(quán)專利 1106項(xiàng)，其中發(fā)明專利 945項(xiàng)。包括CCP刻蝕機(jī)、ICP刻蝕機(jī)、MOCVD設(shè)備在內(nèi)的主要產(chǎn)品均擁有自主專利保護(hù)。

中微公司之所以能夠跨越“第二座大山”，是得益于早期初創(chuàng)團(tuán)隊(duì)的充分準(zhǔn)備。但半導(dǎo)體歸根到底是一個(gè)集群性質(zhì)的產(chǎn)業(yè)，光靠一家中微公司是不夠的。

現(xiàn)如今，資本市場(chǎng)過于注重企業(yè)的盈利能力，而忽略了他們?cè)谥�識(shí)產(chǎn)權(quán)方面的積累�？v觀中國(guó)企業(yè)數(shù)次被卡脖子的情況，無一不是因知識(shí)產(chǎn)權(quán)所致。

對(duì)于科技公司而言，知識(shí)產(chǎn)權(quán)應(yīng)該被格外看重，知識(shí)產(chǎn)權(quán)也很有可能成為未來半導(dǎo)體投資的主線之一。

人們的生活離不開半導(dǎo)體，但研發(fā)半導(dǎo)體設(shè)備又是一個(gè)很燒錢的事情。

對(duì)于上市公司而言，賺錢分紅是為股東負(fù)責(zé);但同時(shí)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)又需要大量的資金投入，否則就只能受制于人。不搞研發(fā)就會(huì)落后，搞研發(fā)又會(huì)燒錢，盈利壓力與研發(fā)投入之間已經(jīng)形成無法回避的“資本悖論”，這成為壓制中國(guó)半導(dǎo)體發(fā)展的“第三座大山”。

尹志堯曾向媒體透露，中微公司成立16年的時(shí)間，就已經(jīng)花掉了超過20億元的資金，然而全球龍頭應(yīng)用材料2020財(cái)年的研發(fā)投入就超過22億美元(約141億元)，幾乎是中微公司過去總投入的7倍。

雖然中微的刻蝕機(jī)已經(jīng)擠進(jìn)國(guó)際一線行列，但未來卻不得不面對(duì)來自國(guó)際巨頭競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的沖擊。數(shù)十倍研發(fā)費(fèi)用的差距，依然讓中微公司不能有任何的放松。

從業(yè)務(wù)層面分析，中微公司與應(yīng)用材料還是存在差異的，應(yīng)用材料如此多的研發(fā)投入并非只針對(duì)刻蝕機(jī)一個(gè)細(xì)分領(lǐng)域，而是全面布局除光刻機(jī)、觸角顯影機(jī)外的半導(dǎo)體前道設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈。

在國(guó)內(nèi)，2010年上市的北方華創(chuàng)采用與應(yīng)用材料相似的發(fā)展策略，也是聚焦光刻機(jī)外的前道設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈。雖然上市較早，但北方華創(chuàng)2020年的研發(fā)費(fèi)用也僅為6.7億元，不足應(yīng)用材料研發(fā)費(fèi)用的5%。

無論是先一步上市的北方華創(chuàng)，還是后來的中微公司他們都遇到了同樣的難題，那就是本身在技術(shù)上就處于落后身位，而研發(fā)支出又遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后對(duì)手，始終處于追趕之中，同時(shí)這也是中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所普遍存在的問題。

不同于北方華創(chuàng)的全產(chǎn)業(yè)鏈布局，中微公司只將注意力聚焦于刻蝕機(jī)和MOCVD設(shè)備之上。雖然業(yè)務(wù)聚焦限制了中微公司的規(guī)模增長(zhǎng)，但同時(shí)更聚焦的研發(fā)則能讓自身與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的研發(fā)支出差距縮小。

刻蝕工藝共有兩條技術(shù)路線，分別是濕法刻蝕和干法刻蝕。目前濕法刻蝕由于各向異性較差，所以應(yīng)用較少，干法刻蝕成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的主流技術(shù)。干法刻蝕又分為電容耦合等離子體刻蝕(簡(jiǎn)稱CCP)、電感耦合等離子體刻蝕(ICP)兩種主流路線。

中微公司早期單以CCP技術(shù)為突破點(diǎn)，在CCP刻蝕機(jī)達(dá)到國(guó)際一流水準(zhǔn)后，才逐漸加深對(duì)于ICP和MOCVD的研究。CCP與ICP并非取代的關(guān)系，而是同時(shí)存在于半導(dǎo)體前道工序中，因此入局ICP有望加深中微公司的業(yè)務(wù)規(guī)模。

對(duì)于技術(shù)落后，很多投資者不以為意，既然技術(shù)落后，那我們就追加投入!但真的有那么容易嗎?

且不提研發(fā)本身就存在失敗的概率，單純提升研發(fā)投入很可能打破公司的支出平衡，讓公司陷入虧損之中，而這恰恰是國(guó)內(nèi)投資者最不愿看到的事情。

這種對(duì)于虧損的擔(dān)心，完全是因?yàn)橘Y本對(duì)于中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)缺乏信心。在中微公司創(chuàng)立之初，其實(shí)尹志堯博士就曾遇到資金不足的問題，直到最終拿到國(guó)開行的投資，中微公司才沒有“夭折”。

回過頭看，國(guó)開行對(duì)于中微公司的投資無比成功，現(xiàn)在的中微公司不僅躋身國(guó)際刻蝕機(jī)一線廠商行列，而且市值也已經(jīng)超過928億元，但今天的成功正是建立在過去的虧損之中。

如此分析，僅靠資本市場(chǎng)是不足以解決中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)落后的情況，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，仍需要大基金的支持。2019年半導(dǎo)體基金的建立讓半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的資金壓力有所緩解，但想要徹底解決資金問題，仍需完善更多的融資渠道。

此外，投資者也需要轉(zhuǎn)換思維，從單純注重盈利轉(zhuǎn)移至重視公司的科技價(jià)值。

縱觀整個(gè)半導(dǎo)體前道設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈，刻蝕機(jī)、光刻機(jī)和薄膜沉積設(shè)備是市場(chǎng)占比較高的三大細(xì)分行業(yè)，分別占整個(gè)市場(chǎng)的25%、22%和22%。

作為半導(dǎo)體前道設(shè)備中市場(chǎng)規(guī)模最大的細(xì)分行業(yè)，刻蝕機(jī)也曾與光刻機(jī)一樣是《瓦森納協(xié)定》所封鎖的重點(diǎn)。但隨著中微公司的突圍，如今《瓦森納協(xié)定》已經(jīng)解除了對(duì)刻蝕機(jī)的封鎖，使得中國(guó)刻蝕機(jī)不再受制于人。

中微公司突圍背后，人才、專利、資本三要素缺一不可。對(duì)于中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言，中微公司的成功很有借鑒意義，只有當(dāng)正確的人，做了正確的事情，并獲得了正確的資本支持，才能讓中國(guó)半導(dǎo)體走上國(guó)際的舞臺(tái)。

(關(guān)鍵字：半導(dǎo)體)